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靶材為什要測量密度?

靶材為什要測量密度?秒準靶材密度計的優(yōu)勢在哪里?

靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時(shí),不易吸附,無(wú)空隙,背靶易脫落。

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著(zhù)薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標之一。

靶材在生產(chǎn)制造的過(guò)程中需要對其密度進(jìn)行測試,采用的方法是阿基米德原理,儀器自動(dòng)計算出靶材密度g/cm3。目前生產(chǎn)的測試采用人工對靶材進(jìn)行測量,由于靶材重量大,操作不便,不利于手動(dòng)計算測試密度。因此需要一種專(zhuān)用密度儀進(jìn)行操作。因此解決這一問(wèn)題就顯得十分必要。

如何測量靶材的密度?

陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料。按材質(zhì)分類(lèi)可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應用領(lǐng)域分類(lèi)靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽(yáng)能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原理:根據ASTM B311、B328;MPIF 42、57;JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738??蛇m用于采用阿基米德原理浮力法,準確直讀量測數值。

秒準靶材密度計經(jīng)過(guò)市場(chǎng)10幾年的驗證以及不斷的研發(fā)升級,現已具備以下特點(diǎn):
1、數顯直讀,無(wú)需人工計算,直接顯示密度和體積等參數。

2、全彩7寸觸摸屏操作,自帶打印功能,可編輯帶公司名稱(chēng)物料編碼的數據報告。
3、采用梅特勒原裝進(jìn)口傳感器,測量精準、操作簡(jiǎn)便、穩定耐用。
4、具有實(shí)際水溫補償功能,可適應測試環(huán)境變化。

5、可設定媒介液密度,使用水作介質(zhì),也可使用其它液體介質(zhì)。
6、采用SUS304一體水槽,耐腐蝕耐摔,底部設計靜音萬(wàn)向輪,便于移動(dòng)。

7、含USB通信接口,方便與電腦連接。

8、內置靜音排水系統,方便換水。
功能描述:

1、直接讀取靶材工件的密度和體積。

特別備注:秒準靶材密度計支持非標定制,已經(jīng)為多家用戶(hù)實(shí)現自動(dòng)化密度測試儀非標定制,搭配機械手/吊機,自動(dòng)完成密度測試,自動(dòng)輸出數據。
技術(shù)參數:

品牌

MAYZUM(保修期:三年)

型號

MAY-AE10

MAY-AE30

MAY-AE50

MAY-AE80

最大稱(chēng)重

0.1g-10kg

0.1g-30kg

0.5g-50kg

2g-80kg

密度精度

0.001 g/cm3

密度范圍

0.001~99.999g/cm3

 

 

水槽尺寸

水槽尺寸:1.2*1*1.2m(長(cháng)寬高),依據客戶(hù)工件尺寸定制最終尺寸

測量時(shí)間

約5秒

測量步驟

放水中吊籃上,按保存鍵密度和體積直接顯示,并打印數據報告。
多孔材料、粉末測試步驟依據國標請參考隨機說(shuō)明書(shū)

結果顯示

密度,體積,比重值

參數設定

水溫設定、媒介液體密度設定

校正方式

一鍵自動(dòng)校正

輸出方式

RS-232C標準通信接口、方便測試數據輸出與打印

溫濕度范圍

允許環(huán)境溫度:0~45℃;允許相對濕度:80%以?xún)?/p>

電    源

AC~220V / 50HZ(出口電源需定制,訂貨前提前注明即可)

操作面板

7寸觸摸屏

標準配件

①主機一臺、②測量組件一套、③電源變壓器一個(gè)、④打印紙1卷

 

 


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