靶材為什要測(cè)量密度？

靶材為什要測(cè)量密度？秒準(zhǔn)靶材密度計(jì)的優(yōu)勢(shì)在哪里？

靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時(shí)，不易吸附，無(wú)空隙，背靶易脫落。

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。

靶材在生產(chǎn)制造的過(guò)程中需要對(duì)其密度進(jìn)行測(cè)試，采用的方法是阿基米德原理，儀器自動(dòng)計(jì)算出靶材密度g/cm3。目前生產(chǎn)的測(cè)試采用人工對(duì)靶材進(jìn)行測(cè)量，由于靶材重量大，操作不便，不利于手動(dòng)計(jì)算測(cè)試密度。因此需要一種專用密度儀進(jìn)行操作。因此解決這一問(wèn)題就顯得十分必要。

如何測(cè)量靶材的密度？

陶瓷靶材密度測(cè)試儀MAY-AE10應(yīng)用于各種靶材材料。按材質(zhì)分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應(yīng)用領(lǐng)域分類靶材可分為半導(dǎo)體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽(yáng)能電池靶材、信息存儲(chǔ)靶材等等都可以測(cè)密度。
原理：根據(jù)ASTM B311、B328；MPIF 42、57；JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738?？蛇m用于采用阿基米德原理浮力法，準(zhǔn)確直讀量測(cè)數(shù)值。

秒準(zhǔn)靶材密度計(jì)經(jīng)過(guò)市場(chǎng)10幾年的驗(yàn)證以及不斷的研發(fā)升級(jí)，現(xiàn)已具備以下特點(diǎn)：
1、數(shù)顯直讀，無(wú)需人工計(jì)算，直接顯示密度和體積等參數(shù)。

2、全彩7寸觸摸屏操作，自帶打印功能，可編輯帶公司名稱物料編碼的數(shù)據(jù)報(bào)告。
3、采用梅特勒原裝進(jìn)口傳感器，測(cè)量精準(zhǔn)、操作簡(jiǎn)便、穩(wěn)定耐用。
4、具有實(shí)際水溫補(bǔ)償功能，可適應(yīng)測(cè)試環(huán)境變化。

5、可設(shè)定媒介液密度，使用水作介質(zhì)，也可使用其它液體介質(zhì)。
6、采用SUS304一體水槽，耐腐蝕耐摔，底部設(shè)計(jì)靜音萬(wàn)向輪，便于移動(dòng)。

7、含USB通信接口，方便與電腦連接。

8、內(nèi)置靜音排水系統(tǒng)，方便換水。
功能描述：

1、直接讀取靶材工件的密度和體積。

特別備注：秒準(zhǔn)靶材密度計(jì)支持非標(biāo)定制，已經(jīng)為多家用戶實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化密度測(cè)試儀非標(biāo)定制，搭配機(jī)械手/吊機(jī)，自動(dòng)完成密度測(cè)試，自動(dòng)輸出數(shù)據(jù)。
技術(shù)參數(shù)：