在電子制造領(lǐng)域,對(duì)工藝化學(xué)品的純度和穩(wěn)定性要求極為嚴(yán)苛。秒準(zhǔn)MAYZUM推出了電子級(jí)雙氧水(H?O?)的精密濃度監(jiān)測(cè)技術(shù)。憑借穩(wěn)定性、精確性和可靠性,該技術(shù)成功解決了長(zhǎng)期困擾行業(yè)的監(jiān)測(cè)難題,贏得了國(guó)內(nèi)外多家領(lǐng)先半導(dǎo)體及平板顯示制造企業(yè)的一致好評(píng),并得到了廣泛應(yīng)用。
電子級(jí)雙氧水是芯片和顯示屏制造中至關(guān)重要的清洗劑和蝕刻劑。其濃度的微小偏差直接影響到晶圓表面的清洗效果、刻蝕速率乃至產(chǎn)品的良率。傳統(tǒng)的人工取樣離線檢測(cè)方式存在滯后性強(qiáng)、易引入污染、勞動(dòng)強(qiáng)度大等固有缺陷,無(wú)法滿足現(xiàn)代智能制造對(duì)實(shí)時(shí)、連續(xù)、無(wú)污染的苛刻要求。行業(yè)亟需一種能夠嵌入生產(chǎn)線、進(jìn)行原位精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)的解決方案。
秒準(zhǔn)MAYZUM MAY-3001F-H?O?在線濃度計(jì)已成功應(yīng)用于多條電子級(jí)雙氧水生產(chǎn)線及用戶端投料點(diǎn)。來(lái)自多家**芯片制造廠和面板廠的反饋表明:
“實(shí)現(xiàn)了濃度的‘零延遲’管控,產(chǎn)品良率得到顯著且穩(wěn)定的提升。”
“徹底告別了人工取樣帶來(lái)的污染風(fēng)險(xiǎn)和誤差,數(shù)據(jù)可靠性倍增,符合嚴(yán)苛的品質(zhì)追溯要求。”
“其出色的穩(wěn)定性和極低的維護(hù)需求,為我們的連續(xù)化生產(chǎn)提供了堅(jiān)實(shí)保障,綜合效益遠(yuǎn)超預(yù)期。”
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